| 摘要 |
複数の蒸着材料収容体を回転支持体の上に設け、特定の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料を加熱させて蒸着材料を蒸発させた場合に、この蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを防止する。上面が開口された凹部内に蒸着材料Tが収容された複数の蒸着材料収容体3を回転可能な回転支持体10の上に設けて、特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、特定の蒸着材料収容体内における蒸着材料を加熱させて蒸発させるにあたり、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部21が設けられた防着部材20を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うように回転支持体の上に配置させ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させた。 |
