主权项 |
一种基于插指型MOS结构的硅基电光调谐波导结构,包括SOI晶圆,该晶圆包括由下至上设置的单晶硅材质的硅衬底(10)、填埋二氧化硅层(20)和单晶硅材质的外延硅层;其特征在于:外延硅层上设置有基于插指型MOS结构的硅基电光调谐波导,该波导包括由下至上设置的硅波导下半层、栅氧层(40)和硅波导上半层、以及设置于硅波导上半层上的第一电极(701)、设置于硅波导下半层上的第二电极(702);所述硅波导下半层包括掺杂类型均为P型或N型的下波导区(301)、下平板区(302)和下欧姆接触区(303);下波导区(301)用于承载光场,下波导区(301)的掺杂浓度为10<sup>17</sup>~10<sup>18</sup>cm<sup>‑3</sup>;下平板区(302)位于下波导区(301)的外侧,下平板区(302)用于降低波导串联电阻,下平板区(302)的掺杂浓度为10<sup>18</sup>~10<sup>19</sup>cm<sup>‑3</sup>;下欧姆接触区(303)位于下平板区(302)的外侧,下欧姆接触区(303)的掺杂浓度为10<sup>19</sup>~10<sup>21</sup>cm<sup>‑3</sup>;第二电极(702)位于下欧姆接触区(303)上;所述栅氧层(40)位于下波导区(301)的外表面,栅氧层(40)的厚度为1~50nm;所述硅波导上半层包括掺杂类型相同、且与硅波导下半层相反的上波导区(501)、上平板区(502)和上欧姆接触区(503);上波导区(501)覆盖于栅氧层(40)上,上波导区(501)用于承载光场,上波导区(501)的掺杂浓度为10<sup>17</sup>~101<sup>8</sup>cm<sup>‑3</sup>,所述下波导区(301)、栅氧层(40)和上波导区(501)形成插指型MOS结;所述上平板区(502)位于上波导区(501)的外侧,上平板区(502)用于降低波导串联电阻,上平板区(502)的掺杂浓度为10<sup>18</sup>~10<sup>19</sup>cm<sup>‑3</sup>;所述上欧姆接触区(503)位于上平板区(502)的外侧,上欧姆接触区(503)的掺杂浓度为101<sup>9</sup>~10<sup>21</sup>cm<sup>‑3</sup>,所述第一电极(701)位于上欧姆接触区(503)上。 |