| 发明名称 |
皮膜付き基材、その製造方法、その皮膜付き基材を含む半導体製造装置部材 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP5927656(B2) |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
| 申请号 |
JP20140227622 |
申请日期 |
2014.11.08 |
| 申请人 |
リバストン工業株式会社 |
发明人 |
石川 哲也;石川 幸一;山田 正志;細川 禎也;山本 亮一 |
| 分类号 |
C23C4/10;C23C4/12;C23C14/00;C23C16/44;C23C24/08;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C4/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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