具有分离的滤色器的BSI图像传感器芯片及其形成方法

摘要

本发明涉及一种器件，该器件包括具有正面和背面的半导体衬底。多个图像传感器设置在该半导体衬底的正面上。多个清色滤色器设置在该半导体衬底的背面上。多个金属环围绕多个清色滤色器。本发明还提供了一种具有分离的滤色器的BSI图像传感器芯片及其形成方法。

主权项

一种半导体器件，包括：半导体衬底，具有正面和背面；多个图像传感器，设置在所述半导体衬底的所述正面上；多个清色滤色器，位于所述半导体衬底的所述背面上；以及多个金属环，每个金属环都围绕所述多个清色滤色器中的一个；其中，所述多个金属环中的每个金属环均包括：第一边缘，与相应被围绕的一个清色滤色器相接触，其中，所述第一边缘基本上是垂直的；以及第二边缘，与有色滤色器相接触，其中，所述第二边缘是倾斜的，所述第二边缘的高度从接近所述清色滤色器的区域到远离所述清色滤色器的区域逐渐地和连续地减小。