发明名称 |
一种快速连续制备大晶畴石墨烯薄膜的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种快速连续制备大晶畴石墨烯薄膜的方法,涉及大晶畴石墨烯薄膜的制备方法。其主要特征为用金属箔片作为催化剂及生长基底,用氧化物为衬底使金属箔片穿过氧化物衬底夹层,然后利用常压化学气相沉积法,通过两端的转动装置,快速连续获得大晶畴高质量石墨烯薄膜。本发明提出的方法,解决了CVD方法制备的石墨烯薄膜晶畴尺寸小、电学性能低、基底表面处理工序复杂且生长周期长等技术问题,通过非常简单的方法,实现了快速连续制备大晶畴石墨烯薄膜样品。 |
申请公布号 |
CN105624778A |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
CN201610191702.1 |
申请日期 |
2016.03.30 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
张智宏;徐小志;俞大鹏;王恩哥;刘开辉 |
分类号 |
C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 |
代理人 |
张肖琪 |
主权项 |
一种快速连续制备大晶畴石墨烯薄膜的方法,其特征在于,将金属箔片置于氧化物衬底的夹层中,并在金属箔片表面生长出高质量大晶畴石墨烯薄膜。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号 |