改良的光阻预烤炉加热装置

摘要

本发明有关于一种改良的光阻预烤炉加热装置，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉内环边加热器，藉由腔体内侧边的加热装置，使加热区域能达到均匀的受热，有效提升产品品质及生产合格率。其主要是由腔体、加热器、热板、温度感应器及内环边加热器所组成，该腔体为一容槽状，底部为支撑底板，位于该支撑底板上方设有该加热器，能对该加热器上的热板进行加热，而该热板内或该加热器内设置有该温度感应器，藉以侦测热板各区域的温度，且该腔体内侧装设有该内环边加热器，能加强该热板端边的受热，达到该热板的全区域的均匀温度，使放置在热板上的玻璃基板达到均匀的烘烤。

主权项

一种改良的光阻预烤炉加热装置，其主要由腔体、加热器、热板和温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，底部为支撑底板，并能于顶面盖合一上盖板而形成一封闭的加热空间，位于该支撑底板上方设有该加热器，能对该加热器上的热板进行加热，而该热板配合下方独立的该加热器产生有小分区，且该小分区内或该加热器内设有该温度感应器，以进行该小分区的独立温度控制，其特征在于：该腔体内侧装设有内环边加热器，其利用电热丝产生热源，以加强该热板端边的受热，使该热板内全区域的温度调整达到均匀一致，而能全面性的烘烤放置于该热板上的玻璃基板。