摘要 |
固体撮像装置(100)は、行列状に配置された複数の単位画素セル(20)と、列毎に配置され画素信号を伝達する垂直信号線(26)と、列毎に配置され電源電圧を供給する電源配線(27)と、列毎に配置され周辺回路からの信号を単位画素セル(20)に伝達するフィードバック信号線(30)とを備え、単位画素セル(20)は、N型拡散層(2)と、N型拡散層(2)の上方に形成された光電変換素子(24)と、N型拡散層(2)と光電変換素子(24)との間に配置され光電変換素子(24)で生成された信号電荷を蓄積する電荷蓄積ノード(25)とを備え、フィードバック信号線(30)と電荷蓄積ノード(25)の一部であるメタル配線(40)と垂直信号線(26)と電源配線(27)とは第2配線層(7)に形成され、垂直信号線(26)及び電源配線(27)は、フィードバック信号線(30)とメタル配線(40)との間に配置されている。 |