| 摘要 |
본 발명은, 광절단법에서 광절단선의 검출에 필요로 하는 시간을 단축하고, 나아가서는, 대상물의 형상 계측의 정밀도를 향상시키는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 관한 형상 측정 방법에서는, 추출한 광절단선(160)을 포함하는 영역 내에 에어리어 분할선(150)을 그어, 소에어리어(151)로 분할한 후, 각 소에어리어(151) 내에 있는 광절단선(160)의 위치를 중심으로 하여 상하 방향으로 복수개의 화소분만큼 넓힌 종방향 영역(152)을 설정한다. 종방향 영역(152)의 총영역(153)에서, 다음회의 화상 처리를 행한다. |
