| 摘要 |
볼로미터 소자(11) 및 레퍼런스 소자(21)를 가지는 적외선 검출기(1)에 있어서, 레퍼런스 소자(21)는 볼로미터막(22)와, 볼로미터막(22)의 기판측 표면에 형성된 기판측 절연막(31)과, 기판측 절연막(31)을 통하여 볼로미터막(22)의 기판측 표면에 형성된 아몰퍼스 실리콘으로 이루어진 방열막(23)과, 방열막(23)과 기판(10)에 열적으로 접속된 아몰퍼스 실리콘으로 이루어진 복수의 방열 기둥(25)을 가지고, 볼로미터막(22) 및 기판측 절연막(31)은 방열막(23)에 있어서 기판(10)의 표면과 교차하는 측면에까지 돌아 들어가 형성되어 있다. 이와 같은 적외선 검출기(1)에 의하면, 사용 환경에 있어서 온도 변화의 영향을 효율 좋게 저감시키면서, 소형화를 도모할 수 있다. |
