一种测量化学气相沉积炉原料蒸发量的装置和方法

摘要

本发明提供了一种测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的装置，包括，浮力装置、轴丝、卷绕装置和可实时显示的计量器组成；所述浮力装置置于化学气相沉积炉内的固体原料顶部，所述浮力装置与所述轴丝的一端相连接；所述轴丝的另一端与所述卷绕装置相连接，所述卷绕装置固定在化学气相沉积炉内的固体原料上方；所述卷绕装置的轴心与所述可实时显示的计量器相连接。本发明提供的测量装置能够实时监测和控制原料的蒸发量，具有较高的精确度。尤其是在高温、真空等密闭条件下，本发明采用轴丝式测量，减小了温度对部件热膨胀的影响，而且本发明的连接方式，在实际的使用过程中具有较好的安全性，也不会影响化学气相沉积炉对高气密性的要求。

主权项

一种测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的装置，其特征在于，包括，浮力装置、轴丝、卷绕装置和可实时显示的计量器组成；所述浮力装置置于化学气相沉积炉内的固体原料顶部，所述浮力装置与所述轴丝的一端相连接；所述轴丝的另一端与所述卷绕装置相连接，所述卷绕装置固定在化学气相沉积炉内的固体原料上方；所述卷绕装置的轴心与所述可实时显示的计量器相连接。