处理装置

摘要

本发明提供对生产率的提高有利的技术。处理装置具备：在对基板进行处理的处理空间中支撑所述基板的基板支撑部；包含具有开口部的顶盖部并将所述处理空间从外部空间分隔的第1分隔构件；和第2分隔构件，其被安装于所述第1分隔构件，以便闭塞所述开口部并与所述第1分隔构件一起从所述外部空间分隔出所述处理空间。所述第2分隔构件被安装于所述第1分隔构件，以便能够通过使所述第2分隔构件朝向所述顶盖部的下表面所面向的空间移动，从而使所述第2分隔构件从所述第1分隔构件取下。

主权项

一种处理装置，其对基板进行处理，其特征在于，所述处理装置具备：基板支撑部，其在对基板进行处理的处理空间中支撑所述基板；第1分隔构件，其包括具有开口部的顶盖部并且使所述处理空间从外部空间分隔开；第2分隔构件，其被安装于所述第1分隔构件，以便闭塞所述开口部并且与所述第1分隔构件一起使所述处理空间从所述外部空间分隔开；和匹配器，其配置于所述第2分隔构件的上方；所述第1分隔构件在所述开口部的周围具有用于安装所述第2分隔构件的安装表面，所述安装表面面向所述顶盖部的下表面所面向的空间；所述处理装置被构成为，通过使所述第2分隔构件朝向所述顶盖部的所述下表面所面向的所述空间移动，从而能够不取下所述匹配器地将所述第2分隔构件从所述第1分隔构件取下。