| 摘要 |
é descrito um controlador de fluxo (10) incluindo uma unidade de detecção de fluxo (14) que é fornecida com uma unidade de detecção (12) para detectar a taxa de fluxo de um fluido; e uma unidade de controle de fluxo (180) que é acoplada a unidade de detecção de fluxo (14) e que é capaz de ajustar uma taxa de fluxo de fluido. o sensor de detecção (38) constituindo a unidade de detecção (12) compreende um sensor de fluxo térmico usando tecnologia mems, e a taxa de fluxo que foi detectada pelo sensor de detecção (38) é enviada para a unidade de controle (24). em adição, na unidade de controle de fluxo (18), o estado de fornecimento de ar para a sala de fornecimento (84) é comutada por cada uma das válvulas solenoide de fornecimento de uso (92) e válvulas solenoide de exaustão de uso (94) e com base no estado de fornecimento de ar, uma válvula de controle (58) se fecha e se abre. |
