光学式表面轮廓扫描系统

摘要

光学式表面轮廓扫描系统，包含一光源装置、一干涉反射镜、一第一分光镜与一影像处理装置，该光源装置发出一检测光束，该第一分光镜将该检测光束同时投射到一待测物表面与该干涉反射镜而分别产生反射，该检测光束投射于该待测物的表面与该干涉反射面的反射在该第一分光镜中产生干涉后，该第一分光镜投射该待测物表面干涉影像给第一取像装置，该影像处理装置透过该第一取像装置接收该待测物表面干涉影像，并将该待测物表面干涉影像与一参考干涉影像相减而得到一差异影像，参照该差异影像以建立该待测物的表面轮廓。

主权项

一种光学式表面轮廓扫描系统，包含有：一光源装置，发出一检测光束；一干涉反射镜，具有一干涉反射面；一第一分光镜，设于该检测光束的光路中，将该检测光束同时投射到一待测物的表面与该干涉反射镜的干涉反射面而分别产生反射，其中该检测光束投射于该待测物的表面与该干涉反射面的反射在该第一分光镜中产生干涉后，该第一分光镜透过一输出光路投射该待测物表面干涉影像；一第一取像装置，设于该第一分光镜的输出光路中，以从该第一分光镜接收该待测物表面干涉影像；以及一影像处理装置，电性连接该第一取像装置并储存有一参考干涉影像，该影像处理装置接收该待测物表面干涉影像，将该待测物表面干涉影像与该参考干涉影像相减而得到一差异影像，参照该差异影像以建立该待测物的表面轮廓；该光学式表面轮廓扫描系统还包含有：一前置分光镜，设于该检测光束的光路中，用以将该检测光束分为一第一子光束与一第二子光束；一参考反射镜，具有一参考反射面；一第二分光镜，设于该第二子光束的光路中，将该第二子光束同时投射到该干涉反射镜的干涉反射面与该参考反射镜的参考反射面而分别产生反射，其中该第二子光束投射于该干涉反射面与参考反射面的反射在该第二分光镜中产生干涉后，该第二分光镜透过一输出光路投射该参考干涉影像；一第二取像装置，电性连接该影像处理装置且设于该第二分光镜的输出光路中，从该第二分光镜接收该参考干涉影像并传送到该影像处理装置中储存；
该第一分光镜设于该第一子光束的光路中以投射该待测物表面干涉影像给该第一取像装置。