硅电容数字输出气压计

摘要

硅电容数字输出气压计，包括壳体和3D-MEMS 绝对压力传感器，壳体内置模拟数字转换器、计算模块、温度测量器、信号调理专用集成电路和电可擦只读存储器，3D-MEMS 绝对压力传感器和温度测量器分别经过模拟数字转换器与计算模块相连，计算模块由压力计算线性化模块和温度补偿模块组成，计算模块通过串行接口与外部控制器相连，串行接口分别与信号调理专用集成电路和电可擦只读存储器相连，压力计算线性化模块和温度补偿模块分别与电可擦只读存储器相连。本发明采用压力敏感单元和信号调理单元一体化设计，内部互联结构，信号调理专用集成电路不仅能给外部设备提供串行接口，还能提供温度信息、可控的校正系数，温度漂移和灵敏度系数。

主权项

一种硅电容数字输出气压计，其特征是包括壳体和3D‑MEMS 绝对压力传感器，壳体内置模拟数字转换器、计算模块、温度测量器、信号调理专用集成电路和电可擦只读存储器，3D‑MEMS 绝对压力传感器和温度测量器分别经过模拟数字转换器与计算模块相连，计算模块由压力计算线性化模块和温度补偿模块组成，计算模块通过串行接口与外部控制器相连，串行接口分别与信号调理专用集成电路和电可擦只读存储器相连，压力计算线性化模块和温度补偿模块分别与电可擦只读存储器相连。