| 发明名称 | 高密度等离子体发生装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及高密度等离子体发生装置，包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大，频率较高的技术问题，本发明采用闭式等离子体层，等离子体灌充于管状等离子体装置内，该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利，等离子体的产生和维持相对简单，便于等离子体技术的广泛应用。 | ||
| 申请公布号 | CN105554995A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201510956652.7 | 申请日期 | 2015.12.18 |
| 申请人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明人 | 周倩倩;胡炜杰;王红飞;王浩静 |
| 分类号 | H05H1/34(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人 | 张倩 |
| 主权项 | 高密度等离子体发生装置，其特征在于：包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源，所述石英管内填充工作气体及工质，所述电源分别与两个电极电连接。 | ||
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 | ||