一种硅片用显影机

摘要

一种硅片用显影机，包括机台，在机台上设有显影液槽，显影机还包括花篮传动部分，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴，在转轴上安装有偏心轮，偏心轮连接挂架。本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果；本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。

主权项

一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于：所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。