METHOD FOR IMPROVING PERFORMANCE OF A SUBSTRATE CARRIER AND A SUBSTRATE CARRIER

摘要

공정 성능을 향상시키기 위해 기판 캐리어를 수정하는 방법은 물질을 증착시키는 것 또는 기판 캐리어에 의해 지지되는 기판상의 디바이스를 제작하는 것을 포함한다. 기판상에 증착된 층의 파라미터는 그 후 기판 캐리어상의 그것들의 상응하는 위치에 관한 함수로서 측정된다. 기판상에서 제작된 적어도 몇몇 소자의 측정된 파라미터 또는 증착된 층의 속성은 기판 캐리어상의 복수의 위치에 상응하는 기판 캐리어의 복수의 물리적 특성을 얻기 위해 기판 캐리어의 물리적 특성과 연관된다. 기판 캐리어의 물리적 특성은 그 후 기판 캐리어상의 위치에 관한 함수로서 증착된 층 또는 제작된 디바이스의 바람직한 파라미터를 얻기 위해 기판 캐리어상의 상응하는 상기 복수의 위치 중 하나 또는 둘 이상에서 수정된다.