溅镀装置及附有薄膜之长条膜之制造方法

摘要

明为一种于长条膜上形成薄膜之溅镀装置10。本发明之溅镀装置10包含：真空腔室11；真空泵12，其对真空腔室11进行排气；供给辊13，其供给长条膜17；收纳辊16，其收纳长条膜17；成膜辊15，其设置于真空腔室11内，沿其表面搬送长条膜17；靶材18，其与成膜辊15相对向；气体配管21，其对真空腔室11内供给气体；导辊28，其导引长条膜17；导辊轴24，其配备于导辊28之两端；轴承25，其支持导辊轴24；及绝缘体26，其将导辊轴24与轴承25之间绝缘；且导辊28之与长条膜17之接触面为浮动电位。

主权项

一种溅镀装置，其系于长条膜上形成薄膜者，其具备：真空腔室；真空泵，其对上述真空腔室进行排气；供给辊，其供给上述长条膜；收纳辊，其收纳上述长条膜；成膜辊，其设置于上述真空腔室内，沿其表面搬送上述长条膜；靶材，其与上述成膜辊相对向；气体配管，其对上述真空腔室内供给气体；导辊，其导引上述长条膜；导辊轴，其配备于上述导辊之两端；轴承，其支持上述导辊轴；及绝缘体，其将上述导辊轴与上述轴承之间绝缘；且上述导辊之与上述长条膜之接触面为浮动电位。