发明名称 |
Verfahren zum Betreiben eines Detektors |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Detektors (4), der dazu ausgebildet ist, Detektionslicht (50) zu empfangen und bei Anliegen wenigstens einer Versorgungsspannung von mehr als 100 V elektrische Signale zu erzeugen. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Höhe der Versorgungsspannung mittels einer Schaltvorrichtung (13, 15), die wenigstens einen halbleiterbasierten Schalter (31) beinhaltet, eingestellt wird. Die Erfindung betrifft außerdem eine Detektorvorrichtung (1) und insbesondere ein Mikroskop (49) mit einer solchen Detektorvorrichtung (1). |
申请公布号 |
DE102014115417(A1) |
申请公布日期 |
2016.04.28 |
申请号 |
DE201410115417 |
申请日期 |
2014.10.22 |
申请人 |
Leica Microsystems CMS GmbH |
发明人 |
Schreiber, Frank;Mrawek, Patric;Seifert, Roland |
分类号 |
G01J1/02;G01B11/24;G02B21/00;H01J40/16;H01J43/00;H01L31/0232;H01L31/024;H01L31/107 |
主分类号 |
G01J1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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