用于光调制的浮动摇臂MEMS器件的制造

摘要

本公开展示了怎样制得用于投射显示器的镜子的快速切换阵列。因为镜在中间没有通孔连接到下方弹簧支架，因此与现有技术不同，没有光自支柱或者通孔散射，于是提高了对比度。由于没有支撑接触，因此可将镜制作得较小，使得可使用更小的像素制得更高密度的显示器。此外，由于没有来自任何支撑弹簧支架的恢复力，因此镜由于附着力而停留在原位面向一或另一方向。这意味着不需要使用电压保持镜处于原位。这意味着需要较小功率运转显示器。

主权项

一种在SRAM存储单元上制造MEMS器件的方法，包括：在第一牺牲层和一个或多个导电电极上方沉积导电层；在导电层上方沉积第二牺牲层；将第一牺牲层、导电层和第二牺牲层封闭在空腔内，其中所述空腔以透明窗或盖层为界；去除第二牺牲层和第一牺牲层以释放空腔内的导电层，以使所述导电层形成分立的浮动摇臂，所述浮动摇臂位于支点上并转动以接触和脱离一个或多个导电电极，其中在操作期间所述分立的浮动摇臂保持与所述透明窗或盖层相间隔；和密封所述空腔。