多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法

摘要

本发明得到一种多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法，其可以提高堆叠速度，并且得到稳定的外径。多孔质玻璃母材的制造装置利用设置在反应容器上的大于或等于一根喷管，喷出含有玻璃原料气体及燃烧气体的反应气体，使旋转的标靶相对于喷管相对地往复运动，将由反应气体进行反应而生成的玻璃微粒向标靶上堆叠，该制造装置具有：整流部，其被喷管贯穿，与标靶远离配置并喷出净化空气；喷管驱动部，其使喷管沿前后方向移动；以及排气部，其隔着标靶与整流部相对，在整流部上设置密闭机构，其在从整流部后退后的位置处将整流部与喷管之间的间隙闭塞。

主权项

一种多孔质玻璃母材的制造装置，其包含：反应容器，其收容标靶，具有隔着所述标靶而相对的第一壁面和第二壁面；喷管，其将玻璃微粒向所述标靶喷出；以及移动单元，其使所述标靶相对于所述喷管沿所述标靶的长度方向相对地往复运动，所述第一壁面具有作为净化空气的导入口的整流部，所述第二壁面具有排气部，所述喷管贯穿所述整流部，其特征在于，包含：喷管驱动部，其使所述喷管相对于所述标靶沿前后方向移动；密闭机构，其在从所述整流部后退后的位置处将所述喷管和所述整流部之间的间隙闭塞，所述密闭机构具有：筒体，其套在所述喷管的外部，前端开口部固定在所述整流部上；以及环状密封部件，其设置在所述筒体的被净化空气冷却的后端开口部处，与所述喷管的外周滑动接触。