COATING LIQUID TO BE APPLIED OVER RESIST PATTERN AND METHOD FOR FORMING REVERSE PATTERN

摘要

[과제] 종래의 린스액 대신에 이용되는, 레지스트 패턴에 도포되는 도포액을 제공한다. [해결수단] 하기 식(1)로 표시되는 구조단위 및 하기 식(2)로 표시되는 구조단위를 갖는 중량평균분자량 500 내지 3500의 폴리머와, 물을 주성분으로 하는 용제를 포함하는, 레지스트 패턴에 도포되는 도포액.(식 중, R은 탄소원자수 1 내지 8의 유기기를 나타낸다.)