源输送混合比可调气路装置

摘要

本发明提供了一种源输送混合比可调气路装置。该源输送混合比可调气路装置包括：载气主管路，其入口连接至载气源；M个气动阀门，其出口分别连接至薄膜沉积腔室中的M个生长位置；以及N路的源载气混合管路，对于该N路源载气混合管路中的每一路而言，其入口连接至载气主管路和一种有机源气体及针对该有机源气体的掺杂源气体的入口，其M个出口分别连接至M个气动阀门中相应气动阀门的入口。本发明将不同的反应源材料通过各自的生长管线分别送入反应室，避免了前后两次反应源材料的污染。

主权项

一种源输送混合比可调气路装置，其特征在于，包括：载气主管路，其入口连接至载气源；M个气动阀门，其出口分别连接至薄膜沉积腔室中的M个生长位置；以及N路的源载气混合管路，对于该N路源载气混合管路中的每一路而言，其入口连接至载气主管路和一种有机源气体及针对该有机源气体的掺杂源气体的入口，其M个出口分别连接至所述M个气动阀门中相应气动阀门的入口；其中，所述N路的源载气混合管路中的每一路源载气混合管路包括：补偿气体分流质量流量计，其入口连接至所述载气主管路；带流量显示的第一压力控制器，其入口连接至所述载气主管路，其出口连接至生长管线；带流量显示的第二压力控制器，其入口连接至所述载气主管路，其出口连接至排空管线，该排空管线的末端通过波纹管调节阀连接至尾气排放口；1个输入载气气体的生长/排空多路组合阀，其中央源输入端连接至所述补偿气体质量流量计的出口；J个输入源气体的生长/排空多路组合阀，其中，每一生长/排空多路组合阀的源气体出口端连接至生长管线；其排空端通过所述波纹管调节阀连接至排空管线；其中央源输入端分别连接至所述主有机源气体及针对该主有机源气体的掺杂源气体的源头；以及M个分流质量流量计，其中，每一分流质量流量计的入口连接至生长管线，其出口作为该路源载气混合管路的支路的出口。