用于光泵浦源的表面放电玻璃基板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于光泵浦源的表面放电玻璃基板，包括石英玻璃本体和沉积于石英玻璃本体上的金刚石耐烧蚀涂层，且金刚石耐烧蚀涂层仅沉积在石英玻璃本体表面将产生表面放电的区域。本发明的制备方法，包括以下步骤：配制含金刚石粉的悬浊液；使用该悬浊液对石英玻璃本体表面进行研磨处理，随后超声振荡预处理；对石英玻璃本体不产生表面放电的区域进行遮挡；在石英玻璃本体的表面热丝化学气相沉积金刚石耐烧蚀涂层，得到表面放电玻璃基板。本发明的产品具有耐等离子体烧蚀、重复使用次数高、成本低等优点。

主权项

一种用于光泵浦源的表面放电玻璃基板，其特征在于，所述玻璃基板包括石英玻璃本体和沉积于石英玻璃本体上的金刚石耐烧蚀涂层，且所述金刚石耐烧蚀涂层仅沉积在石英玻璃本体表面将产生表面放电的区域。