| 发明名称 | 悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。 | ||
| 申请公布号 | CN105518833A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201480049482.8 | 申请日期 | 2014.07.01 |
| 申请人 | 日立化成株式会社 | 发明人 | 南久贵;岩野友洋;荒川敬太;日高敬浩 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 李晓 |
| 主权项 | 一种悬浮液，其特征在于，含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物以及水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz‑Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在‑0.45以下。 | ||
| 地址 | 日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号 | ||