摘要 |
Es wird ein Verfahren zur Funktionskontrolle eines Sensors (10) zur Detektion von Teilchen, insbesondere von Ruß, wobei der Sensor (10) mindestens zwei Messelektroden (20, 22) und ein Substrat (18) aufweist, auf dem die Messelektroden (20, 22) angeordnet sind, vorgeschlagen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Durchführen einer ersten Strom-Spannungsmessung zum Ermitteln einer ersten Messgröße, Durchführen einer zweiten Strom-Spannungsmessung zum Ermitteln einer zweiten Messgröße, wobei eine Messelektrode (22) der Messelektroden (20, 22) auf ein anderes elektrisches Potential (50) gelegt wird, Durchführen einer dritten Strom-Spannungsmessung zum Ermitteln einer dritten Messgröße und Bilden eines Korrekturwerts zum Korrigieren der zweiten Messgröße mittels der ersten Messgröße und der dritten Messgröße. |