光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备

摘要

本发明涉及光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备，该光滤波器具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差。

主权项

一种光滤波器，其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；设置于所述第一基板的第一反射膜；设置于所述第二基板且与所述第一反射膜对置的第二反射膜；设置于所述第一基板的第一电极；设置于所述第二基板且与所述第一电极对置的第二电极；及电压控制部，其控制所述第一电极与所述第二电极之间的电位差，当通过切换所述第一电极与所述第二电极之间的所述电位差来切换被分光的光的波长，测量被分光后的光的光量时，所述电压控制部将所述电位差从第一电位差切换到比所述第一电位差大的第二电位差、和从所述第二电位差切换到比所述第二电位差大的第三电位差，使设定为所述第二电位差的时间比设定为所述第一电位差的时间长，使设定为所述第三电位差的时间比设定为所述第二电位差的时间长，所述第二电位差与所述第三电位差之差的绝对值比所述第一电位差与所述第二电位差之差的绝对值小。