过孔的检测方法和检测装置

摘要

本发明公开了一种过孔的检测方法和检测装置，所述过孔设置于膜层中，所述检测方法包括：向所述过孔的内壁发射入射光线；接收由所述内壁反射形成的第一反射光线和由所述膜层的下底面反射形成的第二反射光线；根据所述第一反射光线和所述第二反射光线生成干涉图样；根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数。本发明提供的检测方法利用了光的干涉原理，实现了对过孔的实时检测，更重要的是，该检测方法不用破坏待检测的产品，有效的节约了经济成本。

主权项

一种过孔的检测方法，其特征在于，所述过孔设置于膜层中，所述检测方法包括：向所述过孔的内壁发射入射光线；接收由所述内壁反射形成的第一反射光线和由所述膜层的下底面反射形成的第二反射光线；根据所述第一反射光线和所述第二反射光线生成干涉图样；根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数；所述内壁参数包括内壁倾斜角，所述根据所述干涉图样检测所述过孔的内壁参数包括：根据所述干涉图样获取所述干涉图样中干涉条纹的总数N；根据所述干涉条纹的总数，通过计算出所述内壁倾斜角，其中λ为入射光线的波长，n为膜层的折射率，L为发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度；所述向所述过孔的内壁发射入射光线之前还包括：调整发射所述入射光线的光源的位置，使得发射到所述内壁上的入射光线的水平宽度为设定宽度L。