一种生产氮化硅的系统

摘要

本实用新型公开了一种生产氮化硅的系统包括：真空反应器，用于真空条件下使原料四氯化硅气体与原料氨气反应，得到第一固体混合物，其中，第一固体混合物包括原料四氯化硅气体与原料氨气反应生成的含氮硅烷化合物和氯化铵；加热装置，与真空反应器连接，加热装置用于热处理含氮硅烷化合物得到氮化硅。本实用新型中的生产氮化硅的系统替代现有技术中的液液界面反应系统，从而降低了原料之间的反应速度，使得原料之间的反应速度可以控制，且不需要使用有机溶剂，避免了后续的复杂分离工序，工艺简单，更容易实现含氮硅烷化合物的大规模化生产，也实现了氮化硅的大规模生产，产能高，在保证生产氮化硅的质量的前提下降低了氮化硅的制造成本。

主权项

一种生产氮化硅的系统，其特征在于，包括：真空反应器，用于真空条件下使原料四氯化硅气体与原料氨气反应，得到第一固体混合物，其中，所述第一固体混合物包括所述原料四氯化硅气体与所述原料氨气反应生成的含氮硅烷化合物和氯化铵；加热装置，与所述真空反应器连接，所述加热装置用于热处理所述含氮硅烷化合物得到氮化硅。