多级罗茨泵

摘要

本发明涉及一种罗茨泵，尤其涉及一种多级罗茨泵，属于抽真空设备技术领域，包括泵体、进气口、排气口，泵体环绕围成的空间形成泵腔，泵腔内设置有主转子及至少两级压缩转子，主转子分别与每个压缩转子啮合，进气口设置在主转子与第一个压缩转子之间，排气口设置在主转子与最后一个压缩转子之间。本发明通过设置多级压缩转子，充分利用单个泵腔内空间，达到多级抽真空效果，真空度高，同时压缩转子与主转子空间布置合理，结构简单、紧凑。

主权项

一种多级罗茨泵，包括泵体(3)、进气口(2)、排气口(13)，泵体(3)环绕围成的空间形成泵腔，其特征在于：泵腔内设置有主转子(1)及至少三级压缩转子，主转子(1)分别与每个压缩转子啮合，进气口(2)设置在主转子(1)与第一个压缩转子之间，排气口(13)设置在主转子(1)与最后一个压缩转子之间；所述的主转子(1)至少为四叶式；压缩转子至少为四叶式；所述的压缩转子包括一级转子(5)、二级转子(7)，一级转子(5)与泵体(3)形成一级封腔(4)，二级转子(7)与泵体(3)形成二级封腔(8)，一级转子(5)、二级转子(7)及主转子(1)围成的空间形成第一压缩腔(6)；所述的压缩转子还包括三级转子(10)，三级转子(10)与泵体(3)形成三级封腔(11)，二级转子(7)、三级转子(10)及主转子(1)围成的空间形成第二压缩腔(9)。