| 发明名称 | 反力外引装置及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种反力外引装置及其方法，包括：内部框架、外部框架、位于所述内部框架的工件台、X向电机与Y向电机、位于所述Y向电机与外部框架之间的Y向反力外引模块、以及位于所述内部框架与外部框架之间的X向反力外引模块，X向反力外引模块的设置可以抵消X向电机传递到内部框架的反力，从而减小内部框架的震动；同时，在X向反力外引模块的线圈与外部框架之间设置有弹簧阻尼结构与导向结构，用于抵消X向反力外引模块在出力方向传递到外部框架的震动，从而达到更好的抵消X向电机反力的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105467770A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201410455900.5 | 申请日期 | 2014.09.09 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 廖飞红;朱岳彬 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种反力外引装置，其特征在于，包括：内部框架、外部框架、位于所述内部框架的工件台、X向电机与Y向电机、位于所述Y向电机与外部框架之间的Y向反力外引模块、以及位于所述内部框架与外部框架之间的X向反力外引模块。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||