照明光学装置、曝光装置及元件制造方法

摘要

照明光学装置（13）将输出自曝光用光源（12）的曝光用光（EL）导向被照射物体（R）。照明光学装置(13)具备排列成矩阵状的多个空间光调变构件(22)，各空间光调变构件(22)将具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状而分别构成。又，各空间光调变构件中的至少1个配置在从光源输出的光的光路内。

主权项

一种照明光学装置，通过从光源输出的光照明被照射面，且与将配置于被照射面的掩模的图案转印至涂有感光性材料的基板上的曝光装置组合使用，其特征在于，具备：空间光调变构件，包含设在所述光的光路的二维排列的多个反射光学元件，可改变所述多个反射光学元件具有的反射面的倾斜；以及绕射光学元件，配置在相对于所述空间光调变构件入射侧的该光路内，具有将所述光分割成多个光束的多个波面分割区域；通过透射过绕射光学元件的所述光照射的所述多个反射光学元件的照射区域被来自该绕射光学元件的该多个波面分割区域的所述多个光束重叠地照射。