基板制造方法

摘要

一种基板制造方法，系在支撑基板上形
成用于形成厚金属图案之遮罩图案之方法。
准备应形成第1线状图案、及比第1线
状图案粗的第2线状图案之支撑基板。在支撑基板之应形成第1线状图案及第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后弹着，并使弹着之薄膜材料硬化之步骤。用以形成第1线状图案之步骤的重复次数多于用以形成第2线状图案之步骤的重复次数。

主权项

一种基板制造方法，具有：准备应形成第1线状图案、及比前述第1线状图案粗的第2线状图案的支撑基板的制程；及在前述支撑基板之应形成前述第1线状图案及前述第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后弹着，并使弹着之前述薄膜材料硬化的步骤之制程；用以形成前述第1线状图案之前述步骤的重复次数，多于用以形成前述第2线状图案的前述步骤的重复次数。