基于远程变焦光路复用的LIBS测试系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种基于远程变焦光路复用的LIBS测试系统及测试方法。该系统主要采用一个远程变焦光路复用LIBS望远镜;该望远镜由一个扩束器、一个45⁰放置的分束镜、一个调整镜组、一个二次扩束聚焦镜组、一个可调光纤耦合镜及一个光纤接口组成。本专利提出的方法可实现LIBS激发与LIBS光谱信号采集的光路复用，且由于镀膜的设计，实现了对于1064nm脉冲激光的高效透过及200nm-750nm范围的LIBS光谱信号的高效采集，提高了远程LIBS的信噪比。

主权项

一种基于远程变焦光路复用的激光诱导击穿光谱测试系统，它包括皮秒固体脉冲激光器(1)，远程变焦光路复用LIBS望远镜(2)，ICCD光谱仪(9)，光纤(10)，其特征在于：所述的测试系统采用一个远程变焦光路复用LIBS望远镜，该望远镜由一个扩束器、一个45°放置的分束镜、一个调整镜组、一个二次扩束聚焦镜组、一个可调光纤耦合镜及一个光纤接口组成，其中所述的扩束器镀有1064nm高透膜、所述的分束镜镀有1064nm高透膜及200nm‑750nm高反膜；所述的调整镜组与二次扩束聚焦镜组镀有1064nm及200nm‑750nm高透膜；所述的可调光纤耦合镜镀有200nm‑750nm高透膜。