一种HDI板铜箔蚀刻液的精确配制装置

摘要

本实用新型公开了一种HDI板铜箔蚀刻液的精确配制装置，包括一个蚀刻液配制槽，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽以及两个预分散槽，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽的位置高于蚀刻液配制槽；添加剂1贮槽、添加剂2贮槽与预分散槽之间通过管道、阀门连接，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽的位置高于预分散槽，所述预分散槽中安装有超声波发生器及温度传感器；本实用新型通过对蚀刻液配制中主要化学药剂加入的准确计量、检测装置的改进，采用计算机瞬时采集泵输送液体的流量，并转化为数字信号，再经计算机积分计算，获得所加入药剂的总量，达到蚀刻液中主要化学药剂的准确加入，改善蚀刻后铜箔质量，提高工艺运行稳定可靠性及生产效率的目的。

主权项

一种HDI板铜箔蚀刻液的精确配制装置，包括一个蚀刻液配制槽，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽以及两个预分散槽，其特征在于，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽的位置高于蚀刻液配制槽；添加剂1贮槽、添加剂2贮槽与预分散槽之间通过管道、阀门连接，添加剂1贮槽、添加剂2贮槽的位置高于配液槽，所述预分散槽中安装有超声波发生器及温度传感器。