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6배위결합 규소-함유 전구체, 6배위결합 규소-함유 전구체의 합성 방법, 및 반도체, 광전지 (photovoltaic), LCD-TFT, 평면 패널형 소자, 내화재, 또는 항공의 제조를 위한 증착 공정을 사용하는 규소-함유 필름을 증착시키기 위한 6배위결합 규소-함유 전구체의 사용 방법이 기재되어 있다. 6배위결합 규소-함유 분자는 하기 화학식을 갖는다:[식 중, 각각의 L, L, L및 L는 산소 또는 질소 원자로부터 독립적으로 선택되고; L및 L는 1 내지 3 개의 탄소 원자를 갖는 탄소 가교를 통해 함께 연결되고; L및 L는 1 내지 3 개의 탄소 원자를 갖는 탄소 가교를 통해 함께 연결되고; L, L및 탄소 가교는 규소에 결합된 모노음이온 리간드를 형성하고; L, L및 탄소 가교는 규소에 결합된 모노음이온 리간드를 형성함]. |
