| 摘要 |
패터닝 디바이스로부터 기판 상으로 패턴을 전사하도록 구성되는 리소그래피 장치에서의 리소그래피 방법이 개시되며, 상기 방법은: 복수의 도즈 값들에서 패턴의 적어도 일부분의 도즈 감도를 결정하는 단계를 포함하고, 도즈 감도는 도즈의 단조적으로 증가하거나 단조적으로 감소하는 함수가 아니다. 프로세서, 메모리 및 저장 디바이스를 포함하는 컴퓨터 제품이 개시되며, 저장 디바이스는 적어도 복수의 도즈 값들에서 리소그래피 패턴의 적어도 일부분의 도즈 감도의 값들, 또는 도즈 감도를 설명하는 함수를 저장하고, 도즈 감도는 도즈의 단조적으로 증가하거나 단조적으로 감소하는 함수가 아니다. |
