双极晶体管的缩放

摘要

一种双极晶体管结构、设计与制造双极晶体管的方法、设计具有双极晶体管的电路的方法。设计该双极晶体管的该方法包括：选择双极晶体管(图18的240)的初始设计；缩放该双极晶体管的该初始设计，以产生该双极晶体管的已缩放设计(245)；根据该缩放之后该双极晶体管的发射极的尺寸，决定是否需要该双极晶体管的该已缩放设计的应力补偿(250)；以及若需要该双极晶体管的该已缩放设计的应力补偿，则相对于该已缩放设计的发射极布局阶层的布局，调整该已缩放设计的沟槽隔离布局阶层的布局(255)，以产生该双极晶体管的应力补偿缩放设计(260)。

主权项

一种用于设计双极晶体管的方法，包括：选择双极晶体管的初始设计；缩放所述双极晶体管的所述初始设计，以产生所述双极晶体管的已缩放设计；根据所述缩放之后所述双极晶体管的发射极的尺寸，决定是否需要所述双极晶体管的所述已缩放设计的应力补偿；以及若需要所述双极晶体管的所述已缩放设计的应力补偿，则相对于所述已缩放设计的发射极布局阶层的布局，调整所述已缩放设计的沟槽隔离布局阶层的布局，以产生所述双极晶体管的应力补偿缩放设计，其中：所述沟槽隔离布局阶层在所述缩放之后沿着集电极的周边定义所述双极晶体管的集电极以及介电隔离；在所述缩放之后，所述发射极布局阶层定义所述双极晶体管的所述发射极；以及所述调整所述沟槽隔离布局阶层的所述布局包括在所述集电极角部中开槽所述沟槽隔离，以形成具有狗骨头形的集电极。