| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER LEVELING, FORCE BALANCING AND CONTACT SENSING |
| 摘要 |
웨이퍼 접합기 장치는 하부 척, 상부 척, 프로세스 챔버 및 3 개의 조절 메커니즘들을 포함한다. 3 개의 조절 메커니즘들은 서로로부터 이격되어 정상 리드 주위에 배열되고 프로세스 챔버의 외측에 위치된다. 각각의 조절 메커니즘은 상부 척에 대한 접촉을 감지하기 위한 구성요소, 상부 척의 사전 로드 힘을 조절하기 위한 구성요소 및 상부 척을 레벨링하기 위한 구성요소를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160032208(A) |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
| 申请号 |
KR20167003932 |
申请日期 |
2014.07.16 |
| 申请人 |
SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH |
发明人 |
JOHNSON HALE;GEORGE GREGORY;BRENNEN MICHAEL |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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