静电扫描器、离子注入系统以及用于处理离子束的方法

摘要

明提供一种用以在离子注入机中扫描离子束的静电扫描器。静电扫描器可以包含第一扫描板，第一扫描板具有面向离子束的第一内表面，第一内表面在垂直于离子束传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与第一扫描板相对的第二扫描板，二者间隔开某一间隙以容纳离子束，第二扫描板具有面向离子束的第二内表面并且在第一平面中具有凸面形状，第一扫描板以及第二扫描板经配置以在间隙中生成静电场，从而沿着垂直于离子束传播方向的水平方向来回扫描离子束。

主权项

一种静电扫描器，用以在离子注入机中扫描离子束，所述静电扫描器包括：第一扫描板，所述第一扫描板具有面向所述离子束的第一内表面，所述第一内表面在垂直于所述离子束传播方向的第一平面中具有凹面形状；以及与所述第一扫描板相对的第二扫描板，所述第一扫描板与所述第二扫描板间隔开一间隙以容纳所述离子束，所述第二扫描板具有面向所述离子束的第二内表面并且在所述第一平面中具有凸面形状，所述第一扫描板以及所述第二扫描板经配置以在所述间隙中生成静电场，从而沿着垂直于所述离子束传播方向的水平方向来回扫描所述离子束。