检查装置及检查方法

摘要

实施形态，本发明之检查装置包括接触位置获取部、及检查状态判定部。上述接触位置获取部系使用保持对象之检查面上有无颗粒之检查结果、及静电夹盘保持机构上之凸部分之座标资讯，而获取上述凸部分对上述检查面之接触位置。上述检查状态判定部系针对附着于上述检查面之与上述凸部分之接触区域之颗粒的尺寸，使用第1判断基准值而判定是否处于容许范围内，针对附着于上述检查面之与上述凸部分之非接触区域之颗粒之尺寸，使用大于上述第1判断基准值之第2判断基准值而判定是否处于容许范围内。

主权项

一种检查装置，其包括：接触位置获取部，其使用有无存在于保持对象之检查面之颗粒之检查结果、及静电夹盘保持机构上之凸部分之座标资讯，而获取上述凸部分对上述检查面之接触位置；及检查状态判定部，其针对附着于上述检查面之与上述凸部分接触之接触区域之颗粒的尺寸，使用第1判断基准值而判定是否处于容许范围内，且针对附着于上述检查面之除与上述凸部分接触之区域以外之非接触区域的颗粒之尺寸，使用较上述第1判断基准值大之第2判断基准值而判定是否处于容许范围内；且检查有无附着于利用静电夹盘保持机构之上述凸部分保持之保持对象之与上述凸部分接触之侧的面之颗粒。