| 发明名称 |
具有同心或趋近同心之多边形沟槽图案的抛光垫 |
| 摘要 |
阐述具有同心或趋近同心之多边形沟槽图案的抛光垫。本文亦阐述制造具有同心或趋近同心之多边形沟槽图案的抛光垫之方法。
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| 申请公布号 |
TW201609312 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104139487 |
申请日期 |
2012.01.20 |
| 申请人 |
奈平科技股份有限公司 |
发明人 |
亚历森 威廉Ｃ;史考特 黛安;辛普森 亚力山卓 威廉 |
| 分类号 |
B24B37/04(2012.01) |
主分类号 |
B24B37/04(2012.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种用于抛光基板之抛光垫，该抛光垫包含：具有抛光表面及背表面之抛光主体，该抛光表面具有包含复数个离散线性段之沟槽图案，该复数个离散线性段垂直或趋近垂直于该抛光表面之半径。
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| 地址 |
美国 |
