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发明名称 成膜装置
摘要
申请公布号 JP5887962(B2) 申请公布日期 2016.03.16
申请号 JP20120017528 申请日期 2012.01.31
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 戸根川 大和;鈴木 啓介;尾崎 徹志;両角 友一朗;張 徳清
分类号 H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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