发明名称 酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット、並びにその製造方法
摘要 An oxide sintered body which is obtained by mixing and sintering zinc oxide, indium oxide, gallium oxide and tin oxide. The relative density of the oxide sintered body is 85% or more and the average grain size of crystal grains observed on the surface of the oxide sintered body is less than 10 μm. X-ray diffraction of the oxide sintered body shows that a Zn2SnO4 phase and an InGaZnO4 phase are the main phases and that an InGaZn2O5 phase is contained in an amount of 3 volume % or less.
申请公布号 JP5883367(B2) 申请公布日期 2016.03.15
申请号 JP20120203576 申请日期 2012.09.14
申请人 株式会社コベルコ科研 发明人 田尾 幸樹;畠 英雄;南部 旭;金丸 守賀
分类号 C04B35/00;C23C14/34 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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