| 发明名称 |
种光产生装置、光源装置及其调整方法、光照射装置、曝光装置、以及元件制造方法 |
| 摘要 |
装置(1)，具备：种光产生装置(10)；光增幅部(20)，用以对种光产生装置(10)所产生之种光(L2)进行光增幅；以及波长转换部(30)，用以对光增幅部(20)进行光增幅后之光进行波长转换。种光产生装置(10)，具备：脉冲产生部(11)，用以产生单一波长之脉冲光(L1)；脉冲调变部(12)，选择性使脉冲光(L1)之一部分通过并加以分离；以及时序调整部(15)，依操作调整脉冲调变部(12)之脉冲光(L1)之分离时序相对脉冲产生部(11)之脉冲光(L1)之产生时序。 |
| 申请公布号 |
TWI525398 |
申请公布日期 |
2016.03.11 |
| 申请号 |
TW098120187 |
申请日期 |
2009.06.17 |
| 申请人 |
尼康股份有限公司 |
发明人 |
德久章;稻叶直人 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01S5/062(2006.01);H01S3/10(2006.01);H01S5/12(2006.01);G02F1/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒;阎启泰 |
| 主权项 |
一种种光产生装置，系产生待进行光增幅之种光，其特征在于，具备：脉冲产生部，用以产生单一波长之脉冲光；脉冲调变部，选择性使该脉冲光之一部分通过并加以分离；以及时序调整部，依操作调整该脉冲调变部之该脉冲光之分离时序相对该脉冲产生部之该脉冲光之产生时序；该时序调整部之该分离时序相对该产生时序之可相对调整范围，系包含该脉冲光之该一部分成为该脉冲光之光强度递减部分之一部分之时序之范围。
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| 地址 |
日本 |
