硅片多线切割机金刚线切割液系统

摘要

本发明揭示一种硅片多线切割机金刚线切割液系统，包括设置有切割硅锭的金刚线的切割机、给所述切割机提供切割液的供给装置及回收所述切割机流下来的切割液的回收装置。供给装置包括切削喷嘴、冷却喷嘴、分别控制所述切削喷嘴及所述冷却喷嘴流量的数个供给阀门、与所述供给阀门连接的供给泵及供所述供给泵连接的供给缸。回收装置包括具有沉淀作用的回流缸及与所述供给缸连接的抽取泵。金刚线的一侧设置有冷却喷嘴，冷却喷嘴用供给阀门单独控制，可大流量喷出切割液以起冷却清洗作用，并且回收装置的回流缸具有沉淀切割液中的硅粉的作用以利于再次使用，从而形成一种适合金刚线切割的硅片多线切割机金刚线切割液系统。

主权项

一种硅片多线切割机金刚线切割液系统，其特征在于，包括设置有切割硅锭的金刚线的切割机、给所述切割机提供切割液的供给装置及回收所述切割机流下来的切割液的回收装置，所述供给装置包括设置于所述金刚线一侧并提供切削用切割液的切削喷嘴、设置于所述金刚线另一侧提供冷却清洗用切削液的冷却喷嘴、分别控制所述切削喷嘴及所述冷却喷嘴流量的数个供给阀门、与所述供给阀门连接的供给泵及供所述供给泵连接的供给缸，所述回收装置包括具有沉淀作用的回流缸及与所述供给缸连接的抽取泵，所述抽取泵从所述回流缸抽取切割液后输送给所述供给缸，所述金刚线切割硅锭时分为在第一方向切割的正向切割及在与第一方向相反的第二方向切割的反向切割，所述供给泵包括正向切割时工作的正向供给泵及反向切割时工作的反向供给泵；所述切削喷嘴包括正向切割时工作的正向切削喷嘴及反向切割时工作的反向切削喷嘴，硅锭的两侧均设置有正向切削喷嘴和反向切削喷嘴，所述冷却喷嘴包括正向切割时工作的正向冷却喷嘴及反向切割时工作的反向冷却喷嘴，硅锭的两侧均设置有正向冷却喷嘴和反向冷却喷嘴，所述切割喷嘴比所述冷却喷嘴更靠近硅锭；所述金刚线包括同时切割两块硅锭的第一切割部与第二切割部，所述第一切割部与第二切割部分别设置正、反向切削喷嘴和正、反向冷却喷嘴；第一切割部与第二切割部上下设置，两个正向切削喷嘴上下设置且左右错开，两个正向冷却喷嘴上下设置且左右错开，两个反向切削喷嘴上下设置且左右错开，两个反向冷却喷嘴上下设置且左右错开；正向切割时，所述正向供给泵工作，所述反向供给泵不工作，反向切割时，所述反向供给泵工作，所述正向供给泵不工作。