| 发明名称 | 靶准备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种工件涂覆方法，包括以下步骤：给涂覆室装入待涂覆工件；关闭该涂覆室并将该涂覆室抽真空至预定的工艺过程压力；启动包括靶作为材料源的涂覆源且来自靶表面的微粒由此被朝向该基材加速，其特征是，在靶表面和基材之间一直设置屏蔽直到该靶被修整，在此期间内所述待涂覆基材至少部分接受预处理。 | ||
| 申请公布号 | CN105392912A | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201480038031.4 | 申请日期 | 2014.06.30 |
| 申请人 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司特鲁巴赫 | 发明人 | 徳尼斯·库拉珀夫;西格弗里德·克拉斯尼策尔 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人 | 张涛 |
| 主权项 | 一种工件涂覆方法，其包括以下步骤：‑将待涂覆工件装入涂覆室，‑关闭该涂覆室并将该涂覆室抽真空至预定的工艺过程压力，‑启动涂覆源，其包括靶作为材料源，由此使得来自靶表面的微粒朝向基材被加速，其特征是，在靶表面和基材之间一直设置屏蔽直到该靶被修整，在此期间内待涂覆的基材至少部分接受预处理。 | ||
| 地址 | 瑞士特鲁巴赫市 | ||