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Kapazitives, mikromechanisches Mikrofon, mit einer Mikrofonmembrane (1), einer Gegenelektrode (3), einem zwischen der Mikrofonmembrane (1) und der Gegenelektrode (3) ausgebildeten Membranvolumen (2) und einem Druckausgleichsvolumen (5), wobei zumindest ein Teil des Druckausgleichsvolumens (5) auf Höhe des Membranvolumens (2) seitlich von ihm angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Druckausgleichsvolumen (5) mit einem in einer Flussrichtung gekrümmten, gebogenen und/oder abgewinkelten Dämpfungskanal (4) verbunden ist. |
