| 发明名称 | 用于光刻设备的光源切换装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。 | ||
| 申请公布号 | CN105372940A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201410428718.0 | 申请日期 | 2014.08.28 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王福亮;徐荣伟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种光源切换装置，其特征在于，包括：至少两个光源，所述光源被切换依次提供照明的光束；分束器，用于将所述光束分为实际照明光束和探测光束；光功率探测器，用于探测所述探测光束以获得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根据所述光功率信息控制驱动器，所述驱动器用于驱动光源切换单元；当所述光功率信息满足预定的阈值时，所述光源切换单元就切换另一个所述光源来提供照明。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||