| 发明名称 |
FORMULATIONS CONTAINING HYDRIDOSILANES AND HYDRIDOSILANE OLIGOMERS, METHOD FOR PREPARING SAME AND USE THEREOF |
| 摘要 |
본 발명은 화학식 SiH(여기서, n = 3-6)의 1종 이상의 히드리도실란 및 1종 이상의 히드리도실란 올리고머를 함유하는 배합물, 그의 제조 방법 및 그의 용도에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160021120(A) |
申请公布日期 |
2016.02.24 |
| 申请号 |
KR20157035476 |
申请日期 |
2014.06.12 |
| 申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH |
发明人 |
WOEBKENBERG PAUL HENRICH;PATZ MATTHIAS;TRAUT STEPHAN;HESSING JUTTA;MALSCH MIRIAM DEBORAH |
| 分类号 |
C01B33/04;C23C18/12;H01L31/18 |
主分类号 |
C01B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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